主要用途是測量目標(biāo)的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，即目標(biāo)的線性位移大小、旋轉(zhuǎn)角度（滾轉(zhuǎn)、俯仰和偏擺）、直線度、垂直度、兩個(gè)目標(biāo)在運(yùn)動(dòng)的平行性（度）、平面度等。無論=機(jī)臺，還是數(shù)控機(jī)床的導(dǎo)軌（包括激光加工機(jī)床），不論是飛行物，還是靜止物的熱膨脹、變形，一旦需要高精度，都要用激光干涉儀測量，得到目標(biāo)的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)。

　　隨著數(shù)控機(jī)床應(yīng)用的普及，國產(chǎn)激光干涉儀檢測數(shù)控機(jī)床的精度已成為一種高精度的檢測手段。在不同的機(jī)床上，用激光干涉測量相同的精度曲線，需要對檢測結(jié)果進(jìn)行科學(xué)的分析。以下是儀器的維護(hù)事項(xiàng)分析，與大家一起探討有效的方法。

　　維護(hù)：

　　1.儀器放置在干燥干凈的室內(nèi)，防止振動(dòng)。移動(dòng)時(shí)，儀器應(yīng)固定底座，防止導(dǎo)軌變形。

　　2.不使用光學(xué)零件時(shí)，應(yīng)存放在干凈干燥的盆中，以防發(fā)霉。反射鏡和分光鏡一般不允許擦洗。需要擦拭時(shí)，先用備件刷仔細(xì)擦去灰塵，然后用脫脂棉球滴酒精輕輕擦拭。

　　3.傳動(dòng)部件應(yīng)潤滑良好。特別是導(dǎo)軌、螺桿、螺母和軸孔部分，用儀表油潤滑。

　　4.在使用過程中，各調(diào)節(jié)部位應(yīng)用力適中，不得有強(qiáng)旋、硬拉。

　　5.導(dǎo)軌上的絲杠應(yīng)防止劃傷和生銹。使用后，得失油。

　　6.儀器零件經(jīng)調(diào)整后，應(yīng)涂紅漆，不得隨意轉(zhuǎn)動(dòng)。