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共聚焦顯微鏡各部分名稱和功能

更新時間:2023-02-15      點擊次數(shù):773

以共聚焦技術(shù)為原理,用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的VT6000共聚焦顯微鏡,可對材料樣品的表面形貌直接進行成像,橫向分辨率可達1nm,Z軸分辨率可達0.5nm。不僅可對樣品表面形貌進行測量,提供表征微觀形貌的輪廓尺寸測量功能,還提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。


其中粗糙度分析包括依據(jù)標準的ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能;幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能;結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等;頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能;功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能。


VT6000共聚焦顯微鏡的構(gòu)造組成主要包括:顯微鏡、激光光源、掃描裝置、檢測器、計算機系統(tǒng)(包括數(shù)據(jù)采集,處理,轉(zhuǎn)換,應(yīng)用軟件)、圖像輸出設(shè)備、光學(xué)裝置和共聚焦系統(tǒng)。


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功能

在陶瓷、金屬、半導(dǎo)體、芯片等材料科學(xué)及生產(chǎn)檢測領(lǐng)域中,共聚焦顯微鏡有著廣泛的應(yīng)用。以共聚焦顯微技術(shù)為原理的共聚焦顯微鏡,對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,從而獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。



可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。


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