激光干涉儀是利用激光的相干性原理來測量物體長度、形狀、位移、表面形貌等參數(shù)的一種設(shè)備。它的原理基于兩束不同頻率的激光交叉干涉形成的干涉圖案來測量目標(biāo)物體的形態(tài)和位移。
 

　　當(dāng)兩束激光束脫離相干性時，干涉圖案將隨時間變化，因此，通常采用各種技術(shù)來保持兩束激光束相干性。比如，在單模激光中采取模式鎖定技術(shù)，使得兩束激光頻率的差值恒定。這兩束頻率相差很小時，它們的束面之間的相干長度較小，因此，當(dāng)一束激光束照射到物體表面時，其反射光與另一束激光束反射光形成干涉圖案。
 

　　激光干涉儀的應(yīng)用：
 

　　1. 長度、位移和形狀測量
 

　　可以測量目標(biāo)物體的長度、位移和形狀等物理量。例如，在制造業(yè)中，可以測量特定零件的大小和形狀，以確保它們與設(shè)計規(guī)格相符。此外，還被應(yīng)用于材料力學(xué)和結(jié)構(gòu)工程中的位移測量，幫助工程師了解建筑物和其他結(jié)構(gòu)的變形和穩(wěn)定性。
 

　　2. 表面形貌測量
 

　　還可以用于表面形貌測量，比如，可以實現(xiàn)微米級精度的表面粗糙度測量。這種技術(shù)被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和光學(xué)器件生產(chǎn)領(lǐng)域，以確保產(chǎn)品達到所需的表面平整度和表面處理質(zhì)量。
 

　　3. 光學(xué)元件測試
 

　　也被廣泛應(yīng)用于光學(xué)元件的測試，比如，它可以用于光學(xué)鏡頭的定位和旋轉(zhuǎn)測量，以及光學(xué)元件的形狀精度檢測和表面質(zhì)量測量。
 

　　總之，激光干涉儀作為一種高精度的測量設(shè)備，被廣泛應(yīng)用于制造業(yè)、工程研究和科學(xué)實驗等領(lǐng)域。其原理基于激光的相干性，可以實現(xiàn)目標(biāo)物體的長度、位移、形狀和表面形貌等物理量的測量。