激光干涉儀采用了激光干涉原理，將物體的微小變形轉(zhuǎn)化成光學(xué)信號(hào)，并通過計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)值化分析，實(shí)現(xiàn)高精度測量。主要用于測量物體的形態(tài)、表面形貌、薄膜厚度等。
 

　　它主要由激光器、分束器、反射鏡、光學(xué)系統(tǒng)、探測器、數(shù)據(jù)采集及處理系統(tǒng)等組成。在實(shí)際應(yīng)用中，常用于表面形貌及薄膜厚度等微小變形的測量。其原理是將獲得的干涉圖像信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，再進(jìn)行數(shù)字化后，通過數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)進(jìn)行計(jì)算，從而獲得要測量的物體或表面形貌等參數(shù)。
 

　　與傳統(tǒng)的干涉儀相比，激光干涉儀的優(yōu)點(diǎn)在于，其不受各種環(huán)境因素的影響，如光的散射、折射、吸收和偏振等，其測量結(jié)果十分準(zhǔn)確，可達(dá)到亞微米級(jí)甚至更高。此外，在測量非常小的尺寸或物體表面時(shí)，還可以實(shí)現(xiàn)非接觸式的測量。
 

　　它的應(yīng)用涉及到多個(gè)領(lǐng)域，如半導(dǎo)體、光電子、納米材料、材料加工、機(jī)械制造等。在半導(dǎo)體領(lǐng)域，可用于測量晶圓、芯片和器件的厚度、曲率等參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)精密的加工控制。在光電子領(lǐng)域，可用于測量光學(xué)器件和光學(xué)透鏡的表面形態(tài)及微小變形等參數(shù)，從而優(yōu)化光學(xué)性能。在材料研究領(lǐng)域，可用于表征各種材料在應(yīng)力、溫度或化學(xué)環(huán)境下的形貌變化，從而確定材料的性能和應(yīng)用。在機(jī)械制造領(lǐng)域，可用于測量金屬、塑料、玻璃等物品的形位尺寸及表面形態(tài)，從而實(shí)現(xiàn)精密的加工控制。
 

　　其高精度、高分辨率的測量結(jié)果，為各種精細(xì)制造和納米技術(shù)提供了重要的支持和保障。隨著技術(shù)的不斷創(chuàng)新和發(fā)展，激光干涉儀在未來還將有更廣泛的應(yīng)用前景。