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SuperViewW1輪廓度光學(xué)測量儀由照明光源系統(tǒng)，光學(xué)成像系統(tǒng)，垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。針對芯片封裝測試流程的測量需求，SuperViewW1非接觸式光學(xué)輪廓測量儀的X/Y方向標(biāo)準(zhǔn)行程為140*100mm，滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動(dòng)化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺(tái)階高等微納米級別精度的測量。而SuperViewW1-Pro 型號增大了測量范圍，可覆蓋8英寸及以下晶圓，定

SJ5800中圖接觸式輪廓儀可以對零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實(shí)現(xiàn)一次掃描測量，尤其是大范圍曲面、斜面進(jìn)行粗糙度檢測，如圓弧面和球面、異型曲面進(jìn)行多種粗糙度參數(shù)、微觀輪廓度參數(shù)的測量。同時(shí)儀器還可對各種精密零件輪廓度、波紋度進(jìn)行測量，對形狀參數(shù)進(jìn)行分析。

SuperViewW1粗糙度輪廓光學(xué)測量儀采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng)，保證測量精度高?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器輪廓掃描測量儀X軸、Z軸采用獨(dú)立運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，使用先進(jìn)的兩軸聯(lián)動(dòng)運(yùn)動(dòng)控制算法，可實(shí)現(xiàn)X、Z雙軸聯(lián)動(dòng)掃描，測量時(shí)測針在工件表面做仿形運(yùn)動(dòng)掃描（主動(dòng)掃描），既保持了恒測力，又保證了大的陡坡通過能力，工件調(diào)平操作簡單，同時(shí)避免了崩針、掛針等問題。該產(chǎn)品還支持量程定制，適用于各行業(yè)領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)室或工作現(xiàn)場使用。

SuperViewW1三維光學(xué)輪廓形貌儀是一款既可以用于科學(xué)研究，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的光學(xué)檢測儀器?？蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中，測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

SuperViewW1光學(xué)輪廓測量儀在鏡頭的上方安裝有機(jī)械防撞傳感器，當(dāng)鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時(shí)，觸發(fā)感應(yīng)器，鏡頭與樣品表面變?yōu)檐浗佑|，并觸發(fā)緊急停止開關(guān)，不再響應(yīng)向下位移的指令，避免鏡頭和樣品的損傷。其雙通道氣浮隔振系統(tǒng)，既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配空壓機(jī)，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。