SuperViewW白光干涉3D材料表面輪廓儀采用白光干涉技術(shù),結(jié)合具有抗噪性能的3D重建算法,真實(shí)還原樣品的每一個(gè)細(xì)節(jié)??梢酝ㄟ^重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌,樣品表面形貌展示得更加清晰,圖像更大,觀察更加方便。
VT6000三維形貌共聚焦材料測量顯微鏡單區(qū)域、多區(qū)域、拼接、自動(dòng)測量等多種測量模式可選擇,適應(yīng)多種現(xiàn)場應(yīng)用環(huán)境;Z軸上裝有防撞機(jī)械電子傳感器、軟件ZSTOP防撞保護(hù)功能,雙重保護(hù)。
NS系列探針式高重復(fù)性臺(tái)階儀采用了線性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級(jí)的分辨率,同時(shí),其集成了超低噪聲信號(hào)采集、超精細(xì)運(yùn)動(dòng)控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。
SuperViewW白光干涉微觀三維形貌測量儀測量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短,確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。
有圖晶圓共聚焦高精度測量顯微鏡橫向分辨率高,所展示的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)更清晰更微細(xì),能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
NS系列微觀二維形貌輪廓臺(tái)階測量儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。能夠測量納米到330μm或1050μm的臺(tái)階高度。
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