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NS系列臺階儀測量柔性電子器件薄膜厚度可用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。應用場景適應性強，其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求，能夠廣泛應用于半導體、太陽能光伏、光學加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領域內(nèi)的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位。

中圖儀器SuperViewW白光干涉非接觸式粗糙度儀基于白光干涉原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像。以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸。

中圖儀器VT6000轉(zhuǎn)盤共聚焦光學顯微鏡系統(tǒng)基于光學共軛共焦原理，以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學系統(tǒng)為基礎，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構設計和3D重建算法，共同組成測量系統(tǒng)。主要采用3D捕獲的成像技術，它通過數(shù)碼相機針孔的高強度激光來實現(xiàn)數(shù)字成像，具有很強的縱向深度的分辨能力。

中圖儀器NS系列觸控面板薄膜厚度測量臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。其采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在薄膜厚度的測量上具有很強的優(yōu)勢。

中圖儀器SuperViewW1白光干涉膜厚儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器VT6000材料領域高分辨率共聚焦測量顯微鏡以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學系統(tǒng)為基礎，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構設計和3D重建算法，共同組成測量系統(tǒng)，可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測，對大坡度的產(chǎn)品有更好的成像效果，在滿足精度的情況下使用場景更具有兼容性。