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VT6000超分辨率轉(zhuǎn)盤共聚焦顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理，結(jié)合精密縱向掃描等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，是實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。

SuperViewW高精度納米量級白光干涉測量儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細(xì)器件的過程用時短，確保了高款率檢測。

SuperViewW科研級三維白光干涉儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。它具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細(xì)器件的過程用時短，確保了高款率檢測。

NS系列高精度薄膜厚度臺階儀集成超低噪聲信號采集、超精細(xì)運動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。

VT6000國產(chǎn)轉(zhuǎn)盤共聚焦顯微鏡所展示的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)更清晰更微細(xì)，橫向分辨率更高，擅長微納級粗糙輪廓的檢測，能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。

VT6000共聚焦工件表面微觀形貌檢測顯微鏡一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。它在材料生產(chǎn)檢測領(lǐng)域中，測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。