簡要描述:SuperViewW1非接觸式三維光學(xué)輪廓儀器可以測到12mm,也可以測到更小的尺寸,XY載物臺標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm,局部位移精度可達(dá)亞微米級別,鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達(dá)0.4um,Z向掃描電機(jī)可掃描10mm范圍,縱向分辨率可達(dá)0.1nm級別,因此可測非常微小尺寸的器件。
產(chǎn)品分類
Product Category詳細(xì)介紹
品牌 | 中圖儀器 | 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) |
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加工定制 | 否 |
光學(xué)輪廓測量儀是目前三維形貌測量領(lǐng)域高精度的檢測儀器之一。在同等放大倍率下,測量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。在一些納米或者亞納米級別的超高精度加工領(lǐng)域,其它儀器達(dá)不到檢測的精度要求。中圖儀器SuperViewW1非接觸式三維光學(xué)輪廓儀器的重建算法自動濾除樣品表面噪點(diǎn),在硬件系統(tǒng)的配合下,分辨率可達(dá)0.1nm。
一是非接觸高精密測量,不會劃傷甚至破壞工件;
二是測量速度快,不必像探頭逐點(diǎn)進(jìn)行測量;
三是不必作探頭半徑補(bǔ)正,光點(diǎn)位置就是工件表面測量的位置;
四是對高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu),可以快速而精確的得到理想的測量結(jié)果。
產(chǎn)品型號:SuperView W1系列
產(chǎn)品名稱:光學(xué)3D表面輪廓儀
影像系統(tǒng):1024×1024
光學(xué)ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)
干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)
XY平臺:尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動、手動同時(shí)具備,均為光柵閉環(huán)反饋
Z軸行程:100mm,電動
Z向掃描范圍:10mm
Z向分辨率:0.1nm
可測樣品反射率:0.05%-100
水平調(diào)整:±5°手動
粗糙度RMS重復(fù)性:0.005nm
臺階高測量:準(zhǔn)確度0.3%,重復(fù)性0.08% 1σ
主要特點(diǎn):非接觸式無損檢測,一鍵分析、測量速度快
生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司
注釋:更多詳細(xì)產(chǎn)品信息,請聯(lián)系我們獲取
SuperViewW1非接觸式三維光學(xué)輪廓儀器由照明光源系統(tǒng),光學(xué)成像系統(tǒng),垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。雙通道氣浮隔振系統(tǒng)的設(shè)計(jì),既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣,在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,可以有效隔絕地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動,同時(shí)內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動,確保儀器在車間也能正常工作。
SuperViewW1光學(xué)輪廓儀可以測到12mm,也可以測到更小的尺寸,XY載物臺標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm,局部位移精度可達(dá)亞微米級別,鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達(dá)0.4um,Z向掃描電機(jī)可掃描10mm范圍,縱向分辨率可達(dá)0.1nm級別,因此可測非常微小尺寸的器件。
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