中圖儀器SJ6000激光干涉光學測量儀測量分辨率可達0.01″，系統(tǒng)測量精度為±1″，基準WR50自動精密轉(zhuǎn)臺重復精度為0.2″。主要由SJ6000激光干涉儀主機、角度鏡組、WR50自動精密轉(zhuǎn)臺、SJ6000回轉(zhuǎn)軸測量軟件構(gòu)成。它具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點，結(jié)合不同的光學鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態(tài)測量軟件配合下，還可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析等。

SJ6000激光干涉光學測量儀是一個交流測試系統(tǒng)，當激光光束強度受環(huán)境影響發(fā)生變化時，其頻率不會受光強變化影響發(fā)生變化，也不會因電平變化造成干涉信號的頻率改變。因此，它的干擾能力強，精度高，測量結(jié)果可靠，在高精度要求的芯片光刻機、計量檢測和前沿科研領(lǐng)域得到廣泛應用。

性能特點

1.易操作，方便攜帶

SJ6000激光干涉儀和鏡組以及環(huán)境補償器，外形小巧美觀方便攜帶，一套完整的激光干涉儀和鏡組只需要裝在一個類似于行李箱的工具箱中，整體加起來的重量在15kg左右，再加上一個可以自由伸縮調(diào)整高度的三腳架（裝在無紡編織袋中），隨時隨地可用于機械測量！激光干涉儀與環(huán)境補償器都有端口和計算機USB接口相連，實時傳遞檢測數(shù)據(jù)，供計算機檢定軟件測算，檢定過程輕松易掌握，沒有復雜的程序設定。

2.高精確度保證動態(tài)性能

氦氖激光器持續(xù)輸出高穩(wěn)頻的激光源，再加上環(huán)境補償器，使線性測量的精度穩(wěn)定在0.5ppm，動態(tài)采集數(shù)據(jù)頻率高達50KHz，測量速度4m/sec，高速測量下的分辨率為1nm，干涉法測量讓您對檢測結(jié)果有信心。

3.高品質(zhì)技術(shù)

精心的設計和嚴格把關(guān)的制造，持續(xù)提供技術(shù)支持，對產(chǎn)品質(zhì)量保證都顯得尤為重要，售前、售中、售后和全國網(wǎng)絡支持。

4.適用性和靈活性

SJ6000激光干涉儀架設靈活，對各種復雜結(jié)構(gòu)的機床、平臺和導軌都具有廣泛適用性，測量快速簡便，減少重復定位測量的時間，同時得到準確直觀的檢測數(shù)據(jù)。

回轉(zhuǎn)軸精度測量

三坐標測量

SJ6000激光干涉儀具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。其中，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成?？蓾M足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。