簡(jiǎn)要描述:SJ6000高精度環(huán)境補(bǔ)償激光干涉儀采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動(dòng)補(bǔ)償。
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品牌 | 中圖儀器 | 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) |
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加工定制 | 否 |
中圖儀器SJ6000高精度環(huán)境補(bǔ)償激光干涉儀采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動(dòng)補(bǔ)償。儀器配備的EC20環(huán)境補(bǔ)償單元,由環(huán)境補(bǔ)償主機(jī)(內(nèi)置濕度傳感器和氣壓傳感器)、空氣溫度傳感器和3個(gè)材料溫度傳感器組成,可實(shí)現(xiàn)對(duì)空氣溫度、濕度、大氣壓力和材料溫度的實(shí)時(shí)高精度檢測(cè)。
SJ6000高精度環(huán)境補(bǔ)償激光干涉儀結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下,可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
(1)可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量;
(2)可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
(3)可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn);
(4)可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);
(5)具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;
(6)支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。
主要鏡組圖
其中,線性鏡組為標(biāo)配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析,以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。
SJ6000激光干涉儀為機(jī)床機(jī)定位誤差(螺距補(bǔ)償)、反向間隙修正提供依據(jù)。操作人員通過定每個(gè)機(jī)床軸的補(bǔ)償值來消除機(jī)床定位系統(tǒng)中的定位誤差。后期通過對(duì)機(jī)床軸的補(bǔ)償,可以將誤差降低到幾乎為零的程度,大大提高機(jī)床作業(yè)精度。補(bǔ)償時(shí)需要先獲得正確的誤差補(bǔ)償值,操作人員需在軸上的不同點(diǎn)測(cè)量機(jī)床的預(yù)期位置和實(shí)際位置之間的微小差異。
進(jìn)行重復(fù)定位測(cè)量前,需要使用附件里的兩個(gè)外加螺絲將其中一個(gè)線性反射鏡安裝在分光鏡上,這個(gè)組合裝置稱為“線性干涉鏡"。線性干涉鏡放置在激光器和線性反射鏡之間的光路上,用它的反射光線形成激光光束的參考光路。另一束光通過分光鏡入射到線性反射鏡,通過線性反射鏡的移動(dòng)來實(shí)現(xiàn)線性定位測(cè)量。
使用激光干涉儀測(cè)量定位誤差,并用檢定軟件進(jìn)行記錄,可以輕松獲取軸上多點(diǎn)測(cè)量的誤差表。這些誤差能夠被轉(zhuǎn)譯成補(bǔ)償值,在相應(yīng)機(jī)床控制器軟件位置進(jìn)行補(bǔ)償值的寫入,實(shí)現(xiàn)機(jī)床的定位誤差補(bǔ)償(螺距補(bǔ)償)、反向間隙補(bǔ)償。
對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行螺距誤差補(bǔ)償
EC20環(huán)境補(bǔ)償單元在出廠前,會(huì)依照相關(guān)計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)對(duì)各環(huán)境參量進(jìn)行精確校準(zhǔn),通常情況下建議24個(gè)月校準(zhǔn)一次。
在使用EC20環(huán)境補(bǔ)償單元過程中,在不影響測(cè)量光路和被測(cè)物體運(yùn)動(dòng)的前提下,建議將環(huán)境補(bǔ)償主機(jī)和空氣溫度探頭就近于測(cè)量光路中間處放置。至于材料溫度探頭該如何布置或應(yīng)用,則需分不同的測(cè)量場(chǎng)合與不同的被測(cè)對(duì)象。
空氣溫度傳感器:±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃
材料溫度傳感器:±0.1℃ (0~55)℃,分辨力0.01℃
空氣濕度傳感器:±6%RH (0~95)%RH
大氣壓力傳感器:±0.1kPa (65~115)kPa
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