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納米級精度臺階儀

簡要描述:NS系列納米級精度臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。它采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時,其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。

  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-12-05
  • 訪  問  量:152

詳細介紹

品牌中圖儀器產(chǎn)地國產(chǎn)
加工定制

中圖儀器NS系列納米級精度臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。它采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時,其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。

納米級精度臺階儀

結(jié)構(gòu)

主要組成部分

1、測量系統(tǒng)

(1)單拱龍門式設(shè)計,結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好,而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響,提高了測量精度。

(2)線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。

(3)傳感器設(shè)計使得在單一平臺上即可實現(xiàn)超微力和正常力測量。測力恒定可調(diào),以適應硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。超低慣量設(shè)計和微小電磁力控制,實現(xiàn)無接觸損傷的精準接觸式測量。

2、工件臺

(1)精密的XY平臺結(jié)合360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)電動旋轉(zhuǎn)臺,可以對樣品的位置以及角度進行調(diào)節(jié),三維位置均可以調(diào)節(jié),利于樣品調(diào)整。

(2)超高直線度導軌,有效避免運動中的細微抖動,提高掃描精度,真是反映工件微小形貌。

3、成像系統(tǒng)

500萬像素高分辨率彩色攝像機,即時進行高精度定位測量??梢詫⑻结樀男蚊矆D像傳輸?shù)娇刂齐娔X上,使得測量更加直觀。

4、軟件系統(tǒng)

測量軟件包含多個模塊。

5、減震系統(tǒng)

防止微小震動對測量結(jié)果的影響,使實驗數(shù)據(jù)更加準確。


產(chǎn)品功能

1.參數(shù)測量功能

1)臺階高度:能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度,可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

2)粗糙度與波紋度:能夠測量樣品的粗糙度和波紋度,分析軟件通過計算掃描出的微觀輪廓曲線,可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等數(shù)十項參數(shù)。

3)應力測量:可測量多種材料的表面應力。

2.測量模式與分析功能

1)單區(qū)域測量模式:完成Focus后根據(jù)影像導航圖設(shè)置掃描起點和掃描長度,即可開始測量。

2)多區(qū)域測量模式:完成Focus后,根據(jù)影像導航圖完成單區(qū)域掃描路徑設(shè)置,可根據(jù)橫向和縱向距離來陣列形成若干到數(shù)十數(shù)百項掃描路徑所構(gòu)成的多區(qū)域測量模式,一鍵即可完成所有掃描路徑的自動測量。

3)3D測量模式:完成Focus后根據(jù)影像導航圖完成單區(qū)域掃描路徑設(shè)置,并可根據(jù)所需掃描的區(qū)域?qū)挾然驋呙杈€條的間距與數(shù)量完成整個掃描面區(qū)域的設(shè)置,一鍵即可自動完成整個掃描面區(qū)域的掃描和3D圖像重建。

4)SPC統(tǒng)計分析:支持對不同種類被測件進行多種指標參數(shù)的分析,針對批量樣品的測量數(shù)據(jù)提供SPC圖表以統(tǒng)計數(shù)據(jù)的變化趨勢。

3.雙導航光學影像功能

在NS200-D型號中配備了正視或斜視的500W像素的彩色相機,在正視導航影像系統(tǒng)中可精確設(shè)置掃描路徑,在斜視導航影像系統(tǒng)中可實時跟進掃描軌跡。

4.快速換針功能

NS系列納米級精度臺階儀采用了磁吸式測針,當需要執(zhí)行換針操作時,可現(xiàn)場快速更換掃描測針,并根據(jù)軟件中的標定模塊進行快速標定,確保換針后的精度和重復性,減少維護煩惱。

納米級精度臺階儀

磁吸針實物外觀圖(330μm量程)


應用領(lǐng)域

應用場景適應性強,其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,能夠廣泛應用于半導體、太陽能光伏、光學加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位,其對表面微觀形貌參數(shù)的準確表征,對于相關(guān)材料的評定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義。如在太陽能光伏行業(yè)的應用:

由于ITO膜具有一定的透光性,而硅基板具有較強的反射率,會對依賴反射光信號進行圖像重建的光學輪廓儀造成信號干擾導致ITO膜厚圖像重建失真,因此考慮采用接觸式輪廓儀對ITO膜厚進行測量,由于其厚度范圍從十幾納米到幾百納米,考慮到測量的同時不損傷樣件本身,因而采用具有超微力可調(diào)和亞納米級分辨率的臺階儀最為合適。

納米級精度臺階儀

NS200臺階儀利用光學干涉原理,通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度,具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點。針對測量ITO導電薄膜的應用場景,NS200臺階儀提供如下便捷功能:

1)結(jié)合了360°旋轉(zhuǎn)臺的全電動載物臺,能夠快速定位到測量標志位;

2)對于批量樣件,提供自定義多區(qū)域測量功能,實現(xiàn)一鍵多點位測量;

3)提供SPC統(tǒng)計分析功能,直觀分析測量數(shù)值變化趨勢;


部分技術(shù)指標

型號NS200
樣品觀察500萬像素彩色攝像機 正視視野:2.2×1.7mm
探針傳感器
超低慣量,LVDC傳感器
平臺移動范圍X/Y電動X/Y(150mm*150mm)(可手動校平)
單次掃描長度55mm
樣品厚度50mm
載物臺晶圓尺寸200mm(8吋)
臺階高度重復性5 ?, 量程為330μm時/ 10 ?, 量程為1mm時(測量1μm臺階高度,1δ)
尺寸(L×W×H)mm630×610×500
重量40kg
儀器電源100-240 VAC,50/60 Hz,200W

懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

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