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激光干涉儀測(cè)量雙直線導(dǎo)軌安裝平行度

簡(jiǎn)要描述:SJ6000激光干涉儀測(cè)量雙直線導(dǎo)軌安裝平行度采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。

  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-12-13
  • 訪  問  量:82

詳細(xì)介紹

品牌中圖儀器產(chǎn)地國(guó)產(chǎn)
加工定制

SJ6000激光干涉儀測(cè)量雙直線導(dǎo)軌安裝平行度采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。

激光干涉儀測(cè)量雙直線導(dǎo)軌安裝平行度


產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。

激光干涉儀測(cè)量雙直線導(dǎo)軌安裝平行度

主要鏡組圖


平行度測(cè)量原理

平行度測(cè)量是在直線度測(cè)量的基礎(chǔ)上而擴(kuò)展的應(yīng)用。平行度測(cè)量由平行軸的兩組直線度測(cè)量組成,參見下面平行度測(cè)量光路原理構(gòu)件圖,其中直線度反射鏡作為共同的參考基準(zhǔn),在測(cè)量過程中保持原位,且不進(jìn)行調(diào)整。由第1運(yùn)動(dòng)軸的斜度θ1中減去第2運(yùn)動(dòng)軸的斜度θ2,即可得出平行度=θ1-θ2。

激光干涉儀測(cè)量雙直線導(dǎo)軌安裝平行度

平行度測(cè)量的光路原理構(gòu)建圖


平行度測(cè)量配置及應(yīng)用

SJ6000激光干涉儀測(cè)量雙直線導(dǎo)軌安裝平行度配置主要由SJ6000主機(jī)、短直線度鏡組(或長(zhǎng)直線度鏡組)、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成。Z軸的平行度測(cè)量需增添可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡。

激光干涉儀測(cè)量雙直線導(dǎo)軌安裝平行度

雙直線導(dǎo)軌安裝的平行度測(cè)量


SJ6000激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下,可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。


產(chǎn)品功能

(1)可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量;

(2)可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;

(3)可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn);

(4)可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);

(5)具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;

(6)支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

激光干涉儀測(cè)量雙直線導(dǎo)軌安裝平行度

測(cè)量軟件

(1)友好的人機(jī)界面;

(2)豐富的應(yīng)用功能模塊;

(3)向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>

(4)簡(jiǎn)潔化的記錄管理;

(5)支持中文、英文和俄文界面;

(6)支持企業(yè)專屬模板定制。


部分技術(shù)指標(biāo)

主機(jī)

穩(wěn)頻精度:0.05ppm

動(dòng)態(tài)采集頻率:50 kHz

預(yù)熱時(shí)間:≤ 6分鐘

工作溫度范圍:(0~40)℃

存儲(chǔ)溫度范圍:(-20~70)℃

環(huán)境濕度:(0~95)%RH


環(huán)境補(bǔ)償單元

空氣溫度傳感器:±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃

材料溫度傳感器:±0.1℃ (0~55)℃,分辨力0.01℃

空氣濕度傳感器:±6%RH (0~95)%RH

大氣壓力傳感器:±0.1kPa (65~115)kPa


線性測(cè)量距離:(0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件)

角度測(cè)量范圍:±10°

平面度測(cè)量范圍:±1.5mm

直線度測(cè)量范圍:±3mm

垂直度測(cè)量范圍:±3/M mm/m


便攜箱尺寸:613*460*230mm

標(biāo)準(zhǔn)配置重量:18kg

懇請(qǐng)注意:因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請(qǐng)諒解。

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。

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