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SuperViewW1表面光學(xué)輪廓儀在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等領(lǐng)域，表面光學(xué)輪廓儀可以提供更高精度的檢測(cè)需求。還可以用自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能，在樣品表面抽取多個(gè)測(cè)量區(qū)域進(jìn)行測(cè)量，從而對(duì)樣品進(jìn)行評(píng)估分析?？梢蕴峁└呔鹊臋z測(cè)需求。

隨著白光干涉測(cè)量技術(shù)的發(fā)展和完善，白光干涉儀已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用。在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等領(lǐng)域，中圖的光學(xué)式表面粗糙度輪廓儀可以提供更高精度的檢測(cè)需求。

中圖SuperView W1 3d光學(xué)輪廓儀檢測(cè)儀器設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)基于無(wú)限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng)。通過(guò)干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋，使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮孑喞獌x。各類(lèi)干涉物鏡還決定了系統(tǒng)很多關(guān)鍵性能，如光學(xué)分辨率，工作距離，齊焦距離，坡度能力，視場(chǎng)范圍等等。中圖儀器提供豐富的各類(lèi)物鏡選擇，以滿(mǎn)足最挑戰(zhàn)的測(cè)試需求。

SuperView W3 非接觸光學(xué)輪廓儀可對(duì)測(cè)試樣品的表面微納形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析，具有測(cè)量準(zhǔn)確度高、應(yīng)用范圍廣、智能化水平高等特點(diǎn)。產(chǎn)品經(jīng)深圳市計(jì)量質(zhì)量檢測(cè)研究院計(jì)量校準(zhǔn)，技術(shù)指標(biāo)參數(shù)滿(mǎn)足相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)要求。

中圖儀器光學(xué)3d表面輪廓儀能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質(zhì)量檢測(cè)，不管是光滑或粗糙、平面或異形結(jié)構(gòu)，當(dāng)測(cè)量超出適配鏡頭下的單視場(chǎng)區(qū)域時(shí)，都可以采用自動(dòng)拼接，根據(jù)不同表面特點(diǎn)進(jìn)行重建算法的切換，無(wú)論何種形貌，都可生成“天衣無(wú)縫”的3D全景。

3D形貌地圖配合色譜圖，非常直觀；但橫向測(cè)試范圍，縱向高度尺度也很關(guān)鍵。中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的SuperView W1光學(xué)3d輪廓儀用于測(cè)量精密工件的微納米三維形貌一鍵測(cè)量，自動(dòng)拼接功能能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域、高精度的測(cè)量。