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SuperViewW一鍵三維形貌光學檢測輪廓儀基于白光干涉原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。

中圖儀器3D顯微形貌粗糙度光學輪廓儀SuperViewW具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。

SuperViewW全自動3D輪廓儀粗糙度表面形貌儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。它具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，特殊光源模式可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

SuperViewW光學摩擦磨損形貌輪廓測量儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器，它具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點。

SuperViewW高精度光學3D輪廓測量儀實現(xiàn)各種精密器件及材料表面的亞納米級測量。它能以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。

SuperViewW光學3D輪廓儀檢測儀以白光干涉技術(shù)為原理，針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度、大掃描范圍的需求，其復合型EPSI重建算法解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。