中圖SJ6000激光干涉儀除了環(huán)境適應(yīng)能力好,還可以進行動態(tài)高速測量,選配相應(yīng)的功能模塊元件后還可以測量振動幅度、平面度、線速度、角速度等。以干涉技術(shù)為核心,其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補償模塊,可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償;干涉鏡與主機分離設(shè)計,避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩(wěn)定可靠。
中圖儀器SJ6000高精度檢測機床激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點,結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。除了環(huán)境適應(yīng)能力好,還可以進行動態(tài)高速測量,選配相應(yīng)的功能模塊元件后還可以測量振動幅度、平面度、線速度、角速度等。
中圖儀器SJ6000激光干涉光學(xué)測量儀具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。其中,線性鏡組為標(biāo)配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。
精密測量SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補償模塊,可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償;干涉鏡與主機分離設(shè)計,避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩(wěn)定可靠。
以激光干涉技術(shù)為核心,SJ6000工業(yè)激光干涉測量儀機床精度測試的分辨率可達納米級。采用的激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)高精度、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,并且干涉鏡與主機分離設(shè)計,避免了干涉鏡受熱影響,保證了干涉光路穩(wěn)定可靠。可檢測數(shù)控機床、三坐標(biāo)測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。
SJ6000高性能激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補償模塊,可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償;干涉鏡與主機分離設(shè)計,避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩(wěn)定可靠。
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