SJ6000激光干涉儀測量系統(tǒng)可以實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測,也具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等;支持手動或自動進行環(huán)境補償。
SJ6000機床精密測量激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點,結合不同的光學鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。以光波為載體,其光波波長可以直接對米進行定義,是一款高精度、高靈敏度的測量儀器,在制造領域應用廣泛。
SJ6000高精度測量激光干涉儀為機床機定位誤差(螺距補償)、反向間隙修正提供依據(jù)。操作人員通過每個機床軸的補償值來消除機床定位系統(tǒng)中的定位誤差。后期通過對機床軸的補償,可以將誤差降低到幾乎為零的程度,大大提高機床作業(yè)精度。
SJ6000光學干涉儀對機床運動導軌和滾珠絲桿的各項參數(shù)檢測分析、校準補償?shù)闹匾裕鴻C床在裝配、加工、生產(chǎn)的同時需要頻繁的使用到激光干涉儀,來進行多種幾何量精度參數(shù)的測量以及動態(tài)性能的測試、分析。從宏觀角度來講,激光干涉儀對機床工具產(chǎn)業(yè)乃至整個制造工業(yè)的升級,都是功不可沒的。
SJ6000國產(chǎn)激光干涉儀品牌是一個交流測試系統(tǒng),當激光光束強度受環(huán)境影響發(fā)生變化時,其頻率不會受光強變化影響發(fā)生變化,也不會因電平變化造成干涉信號的頻率改變。因此,它的抗擾力強,精度高,測量結果可靠,在高精度要求的芯片光刻機、計量檢測和前沿科研領域得到廣泛應用。
SJ6000激光光學干涉儀是一個交流測試系統(tǒng),當激光光束強度受環(huán)境影響發(fā)生變化時,其頻率不會受光強變化影響發(fā)生變化,也不會因電平變化造成干涉信號的頻率改變。因此,它的抗擾力強,精度高,測量結果可靠,在高精度要求的芯片光刻機、計量檢測和前沿科研領域得到廣泛應用。
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